淺議石英晶振器件的激光刻蝕頻率微調(diào)研究.pdf
2018年5月10日-石英晶振器件的激光刻蝕頻率微調(diào)研究 姓名:邵凈羽 ....12 圖1.5日本昭和真空生產(chǎn)的熱陰極離子槍……….13...這種加工方法具有較為明 顯的優(yōu)越性,可對...
用離子束對石英晶振晶片進(jìn)行刻蝕分析頻率偏移_手機(jī)網(wǎng)易網(wǎng)
2018年3月8日-實驗設(shè)備:離子束刻蝕頻率微調(diào)機(jī)使用昭和真空生產(chǎn)的SFE-6430T。離子槍的加速鉬片到晶片表面的距離為25mm,氬氣流量為0.35SCCM。 首先,進(jìn)行較大刻蝕速度...
