煤制砂機(jī)械工作原理
工業(yè)硅制砂機(jī)械工作原理工業(yè)硅制砂機(jī)械工作原理,煤制砂機(jī)械工作原理煤化工是煤炭...水渣研磨機(jī)械工作原理,信息-上海選礦機(jī)器設(shè)備有限公司水渣鐵研磨機(jī)械工作原理我國...
【】一種化學(xué)機(jī)械研磨漿料組成_
胡紹中,蔡騰群,許嘉麟-CN-2003-被引量:4[####]一種化學(xué)機(jī)械研磨漿料組成。包含有一研磨粒成分金屬氧化物、預(yù)定濃度的溶解態(tài)臭氧及添加劑,漿料組成的pH值介于1-10之間。通過臭氧作為CMP研磨漿料的氧化劑,具有較佳的氧...[/####] 超聲振動輔助化學(xué)機(jī)械復(fù)合研磨硅片技術(shù)的基礎(chǔ)研究_
臣-《江西農(nóng)業(yè)大學(xué)》-2012-被引量:1[####]隨著微電子技術(shù)行業(yè)的迅猛發(fā)展,作為制造微電子芯片常用的半導(dǎo)體材料——單晶硅片,其精密及超精密加工技術(shù)也越來越被受到重視。本文在深入研究分析國內(nèi)外研磨加工和...[/####] 【】化學(xué)機(jī)械研磨裝置 Chemical mechanical poli..._
孔祥濤,陳建維,張旭升-2013-被引量:2[####]一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置,包括:轉(zhuǎn)軸;研磨臺,設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸的端部;研磨墊,設(shè)置在所述研磨臺之異于所述轉(zhuǎn)軸的一側(cè);研磨頭,具有內(nèi)置中空容置空間,并與所述研磨墊呈面向設(shè)置;施...[/####] 機(jī)械研磨制備硅灰石-SiO2復(fù)合顆粒及其表征_
崔嵬,任天宇,陳婉婷-《非金屬礦》-2016-被引量:1[####]采用機(jī)械研磨法,通過白炭黑濕法研磨解聚和硅灰石-白炭黑共混研磨手段制備硅灰石-無定形SiO2復(fù)合顆粒,對復(fù)合過程各因素進(jìn)行了優(yōu)化,對硅灰石-SiO2復(fù)合顆粒的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了...[/####] 【】改善鎢栓化學(xué)機(jī)械研磨表現(xiàn)的方法_
張亮-2012[####]一種改善鎢栓化學(xué)機(jī)械研磨表現(xiàn)的方法,包括:執(zhí)行步驟S1:提供介質(zhì)材料襯底;執(zhí)行步驟S2:在所述介質(zhì)材料襯底之頂層沉積所述氮化硅薄膜;執(zhí)行步驟S3:光刻、刻蝕、去膠清洗,并進(jìn)...[/####] 化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺
一種化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺,包括多個研磨臺,呈同心圓環(huán)狀配置,彼此以一間距相鄰,設(shè)于旋轉(zhuǎn)座上,并以同一方向旋轉(zhuǎn);在各研磨臺上,裝有形狀相符的研磨墊;以及一分送管...
一種減少埋層空洞型soi晶片化學(xué)機(jī)械研磨破裂的工藝
針對埋層空洞型SOI晶片(Cavity?SOI)的化學(xué)機(jī)械研磨減薄,主要步驟為:壓力設(shè)定、鍵合、粗磨、精拋,完成埋層空洞型SOI晶片的制作。根據(jù)SOI晶片頂層硅膜的終厚度...
硅石砂研磨機(jī)械工藝流程
硅石球磨機(jī):鄭州義龍礦山機(jī)械有限公司的硅石球磨機(jī)是 機(jī)械及行業(yè)設(shè)備> 礦業(yè)輸送設(shè)備...工業(yè)硅磨粉廠 硅砂研磨機(jī)械價格 硅石砂磨粉機(jī)械工作原理 硅石砂磨粉機(jī)械多少錢一...
【】提高硅化學(xué)機(jī)械拋光效率的方法_
程曉華,方精訓(xùn),鄧鐳-2011[####]本發(fā)明公開了一種提高硅化學(xué)機(jī)械拋光效率的方法,在晶圓到達(dá)研磨墊后,進(jìn)行硅化學(xué)機(jī)械拋光之前,采用刻蝕藥液對晶圓進(jìn)行表面處理。本發(fā)明能夠完全去除硅表面自然產(chǎn)生的氧化...[/####] 【】化學(xué)機(jī)械研磨用水系分散體及半導(dǎo)體裝置的化學(xué)..._
安藤民智明,金野智久-2009[####]本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械研磨用水系分散體,其pH為4～5,用于同時對由選自多晶硅膜、氮化硅膜及氧化硅膜中的2種以上形成的被研進(jìn)行研磨,其含有:0.1～4質(zhì)量%的(A)具有10n...[/####] 化學(xué)機(jī)械研磨漿液與化學(xué)機(jī)械平坦化方法
一種化學(xué)機(jī)械研磨漿液,特別涉及一種可將一片圖案晶圓上的銅磨除掉的化學(xué)機(jī)械研磨漿液,包含一種酸、一種界面活性劑、一種水性介質(zhì),及數(shù)顆經(jīng)一種表面電性改質(zhì)劑...
硅片研磨表面狀態(tài)的改善和研磨液的改進(jìn)_圖文_
評分:3.5/56頁[/####]2014年6月13日-此實驗是為了分析采用不同漿液測得的應(yīng) 力大小和硅晶片的機(jī)械損傷,比較哪一種研磨液效 果比較好。 2.2表面活性劑作用及原理 表面活性劑是使表面具...
用于多晶硅化學(xué)機(jī)械研磨制程中缺陷檢測晶圓的制作方法
一種用于多晶硅化學(xué)機(jī)械研磨制程中缺陷檢測晶圓(控片)的制作方法,在硅襯底上沉積一薄層氧化硅薄膜后,再在氧化硅層上沉積一層氮化硅阻擋層,然后再在氮化硅阻擋層...
一種自動調(diào)節(jié)化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備硅片研磨壓力的方法
本發(fā)明公開了一種自動調(diào)節(jié)化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備硅片研磨壓力的方法,使用化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備對硅片研磨,在該化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的HCLU內(nèi)加裝壓力感應(yīng)傳感器,然后循環(huán)執(zhí)行以下步驟...
【硅灰雷蒙磨,生石灰研磨機(jī)械工作原理】-網(wǎng)
2016年11月23日-硅礦,氧化鐵紅,鋇鹽,鉀鹽,明礬,鋁礬土,剛玉,炭化硅,鉀長石,珍珠巖,鋰長石,...上海昌磊機(jī)械成套設(shè)備有限公司為你提供的“硅灰雷蒙磨,生石灰研磨機(jī)械工...
硅襯底的化學(xué)機(jī)械拋光工藝研究_
譚剛,吳嘉麗-青年學(xué)術(shù)會議-2005-被引量:13[####]在對不同粒徑分散度的氧化鈰拋光液進(jìn)行比較后提出了參與機(jī)械研磨的有效粒子數(shù)才...譚剛 吳嘉麗.硅襯底的化學(xué)機(jī)械拋光工藝研究[J][J].儀器儀表學(xué)報,2005,26(8...[/####] 粉體工業(yè)中常用的破碎工藝與破碎機(jī)械
工作原理:被破碎的物料,在兩個相對轉(zhuǎn)動的圓輥夾縫中...上繼續(xù)受到錘子的打擊和研磨,直到破碎所需出料...高性能硅納米粒子 融資目標(biāo):700.00萬 出讓股份:15...
明礬石研磨機(jī)械工藝流程
磨煤機(jī)石子煤鈣粉生產(chǎn)工藝明礬石研磨機(jī)械工作原理價格。(Hc.com)供應(yīng)商上海世邦機(jī)器有限公司磨煤機(jī)石子煤鈣粉生產(chǎn)工藝明礬石研磨機(jī)械工作原理。本公司磨煤機(jī)石...
切割研磨設(shè)備 - 硅棒硅錠生產(chǎn)設(shè)備名錄_
評分:4/521頁[/####]2011年1月14日-硅棒切割設(shè)備, 硅棒研磨設(shè)備 石家莊威鋒機(jī)械制造有限公司 中國大陸 硅棒切割設(shè)備, 硅棒研磨設(shè)備 無錫開源太陽能設(shè)備科技有限公司 中國大陸 300 硅棒切...
粉碎機(jī)械_水泥磨機(jī) 超微粉碎能達(dá)到幾目 工業(yè)硅研磨機(jī)械 -
水泥磨機(jī) 超微粉碎能達(dá)到幾目 工業(yè)硅研磨機(jī)械...重量 400(kg) 粉碎程度 超細(xì)磨機(jī) 原理 超聲波粉碎...
硅片研磨和研磨液作用的分析 -
2016年2月1日-研磨液由多種成分組成, 主 錯; 下層為彈性形變層。這些機(jī)械損傷若殘留在硅 ...原理和改進(jìn)方向3 作用下微裂縫不但無法愈合, 而且越來越深和擴(kuò) 大, 有...
硅片加工表面拋光_機(jī)械/儀表_工程科技_專業(yè)資料
評分:5/5102頁[/####]2015年4月7日-硅片拋光的意義硅加工中,多線切割、研磨等加工過程中, 會在表面形成損傷層,...2) 化學(xué)機(jī)械拋光的基本原理 ? 3) 化學(xué)機(jī)械拋光的設(shè)備結(jié)構(gòu) ? 4) 化學(xué)機(jī)械...
工業(yè)硅粉碎機(jī)械工作原理
工業(yè)硅研磨機(jī)械工作原理-粉碎機(jī)械知識價格工業(yè)硅研磨機(jī)械工作原理工業(yè)硅研磨機(jī)械工作原理研磨機(jī)機(jī)械原理發(fā)布時間標(biāo)簽研磨機(jī)特點與用途采購百科導(dǎo)讀研磨機(jī)采用無級調(diào)速系...
鉬硅混合粉末在機(jī)械合金化過程中的結(jié)構(gòu)演變_
馬勤,翠霞,薛群基-《稀有金屬材料與工程》-2003-被引量:13[####]采用X射線衍射儀(XRD)和差熱分析儀(DTA)研究了Mo-67at%Si元素混合粉末在中等強度的機(jī)械研磨(合金化)過程中的結(jié)構(gòu)變化過程。結(jié)果表明:在中等強度的研磨過程中,β-MoSi2...[/####] 涂料磨具基礎(chǔ)知識_
評分:3.5/510頁[/####]2011年1月18日-涂料磨具基礎(chǔ)知識 - 磨料是一種具有高硬度和一定機(jī)械強度的顆粒材料,是用于制造磨具或直接用于研磨和拋光。
化學(xué)機(jī)械研磨_手機(jī)互動百科
研磨制程根據(jù)研磨對象不同主要分為:硅研磨(Poly CMP)、硅氧化物研磨(Oxide CMP)、鎢研磨(W CMP)和銅研磨(Cu CMP)。 三 研磨耗材 研磨耗材分為以下幾大類...
硅石研磨機(jī)械工作原理
高科機(jī)械第三代全新鋁灰球磨機(jī)硫酸渣球磨機(jī)硅石球磨機(jī) 1845 鞏義市高科機(jī)械廠 硫酸...(配套動力依據(jù)采用襯板材質(zhì)和研磨物料的不同會有所差異) 硅石磨的工作原理 ...
硅襯底的化學(xué)機(jī)械拋光工藝研究_
譚剛,吳嘉麗-《儀器儀表學(xué)報》-2005-被引量:13[####]液進(jìn)行比較后提出了參與機(jī)械研磨的有效粒子數(shù)才是機(jī)械拋光過程的重要因素,而不是...譚剛 吳嘉麗.硅襯底的化學(xué)機(jī)械拋光工藝研究[J][J].儀器儀表學(xué)報,2005,26(8...[/####] 機(jī)械化學(xué)研磨_
李合慶-《磨料磨具通訊》-2003[####]摘 要:[/####] 【】化學(xué)機(jī)械研磨方法 Chemical mechanical polis..._
鄧武鋒-CN-2010[####]本發(fā)明提供了一種化學(xué)機(jī)械研磨方法,用于研磨填充有金屬的溝槽結(jié)構(gòu);所述化學(xué)機(jī)械研磨方法包括在研磨臺上進(jìn)行主研磨和在研磨臺上研磨去除溝槽上方剩余的金屬的步驟...[/####] 表面機(jī)械研磨_異步軋制無取向硅鋼薄帶的滲硅行為_莫成..._
評分:2.5/54頁[/####]2013年6月25日-表面機(jī)械研磨_異步軋制無取向硅鋼薄帶的滲硅行為_莫成剛 - 第 10 卷第 3 期 2011 年 9 月 材料與冶金學(xué)報 Journal of Materials and Meta...
